Модуль MIRAD для увеличения возможностей систем тестирования различних приборов визуализации
Предлагаемый модуль инфракрасного излучения, является модулем, позволяющим значительно расширить возможности установок, используемых для тестирования различных систем визуализации. Применение этого модуля позволяет протестировать полупроводниковые пластины, облучая эти пластины излучением с различной интенсивностью и с частотой от MWIR до LWIR.
Общая информация
Модуль серии MIRAD по сути является инфракрасным облучателем, который оптимизирован для работы в качестве модуля для систем, используемых для тестирования полупроводниковых пластин, используемых для изготовления систем визуализации типа LWIR / MWIR FPA. Модуль облучателя MIRAD разработан для замены устаревшего модуля облучателя IA-OPT385WL (излучающего свет в диапазоне видимого излучения и SWIR излучения) используемого в системе тестирования IP750 производства Teradyne Inc. Предлагаемый модуль MIRAD является инфракрасным модулем, облучающим тестируемые пластины в диапазоне средних и дальних частот с регулируемой интенсивностью и высокой степенью однородности. Предлагаемый модуль MIRAD оптимизирован для работы в качестве модуля облучения для работы также в других подобных системах других производителей, представленных на международном рынке.
Излучатели MIRAD позволяют генерировать излучение однородной или переменной интенсивности в диапазоне волн MWIR и LWIR передаваемое на тестируемые пластины, расположенные на расстоянии нескольких десятков мм от выходного отверстия передающей трубы.
Схематично работа модуля MIRAD выглядит следующим образом: абсолютно черное тело MTB работает в качестве источника излучения с высокой интенсивностью излучения и максимальной температурой до 550°С, это излучение поступает в направлении передающей трубы TP. Уровень излучения, которое поступает в передающую трубу TP, регулируется аттенюатором VAB, за счет механического регулирования активной области входного отверстия передающей трубы TP. Передающая труба TP конструктивно состоит из трёх частей, и работает в качестве высокоэффективной передающей трубы, а также в качестве высокоэффективного оптического интегратора и формирователя луча.
Функция высокоэффективной передающей трубы служит для достижения высокого максимального облучения тестируемой пластины.
Функция высокоэффективного оптического интегратора и формирователя луча необходима для достижения облучения тестируемой пластины с высокой степенью однородности.
Регулирования степени облучения можно проводить двумя способами, первым - изменением температуры абсолютно черного тела (медленный способ), вторым - с использованием аттенюатора VAB (быстрый способ), этот метод позволяет изменить уровень облучения от нулевого значения до максимального и обратно за время около 10 сек.
Состав системы:
Конструктивно излучатели MIRAD состоят из трех основных блоков:
- Абсолютно черного тела MTB, работающего на средний температурный диапазон;
- Опто-механический переменный аттенюатор VAB
- Передающей трубы TP, состоящий из трех частей.
Параметры модуля MIRAD:
Параметр |
Значение |
Общие параметры | |
Расстояние между концом трубы TP3 и плоскости тестируемого сенсора |
требуемое расстояние - 28 мм (уровень облучения на другом расстоянии может изменятся) |
Максимальная степень облучения тестируемого сенсора |
не менее 8 мВт/см2 (уточняется в документации на модуль при финишном тестировании) |
Максимальная область тестируемого сенсора |
круг диаметром 60 мм |
Рекомендуемая область тестируемого сенсора |
не больше круга диаметром 40 мм |
Не однородность облучения |
<±2% в при области диаметром 30 мм |
Спектральная частота испускаемого излучения |
от 7 мкм до 30 мкм |
Спектр испускаемого излучения |
спектр по "Планку" соответствующий спектру заданной температуры АЧТ |
Параметры абсолютно черного тела | |
Рабочий температурный диапазон АЧТ | от 50°С до 550°С, рекомендуемая температура не более 500°С |
Площадь АЧТ | круг диаметром 120 мм |
Эффективная площадь АЧТ | круг диаметром 90 мм |
Разрешение регулировки | 10 мК |
Временная стабильность | не хуже чем 50 мК |
Управление АЧТ | с ПК по интерфейсу USB |
Переменный аттенюатор VAB | |
Диапазон пропускания | от 0% до 100% |
Разрешение регулирования передачи | не хуже чем 0,1% |
Фильтр очистки воздуха | имеется |
Управление | с ПК по интерфейсу USB |
Передающие трубы TP1, TP2, TP3 | |
Габаритные размеры | оптимизировано для замены модуля в системе тестирования IP750 |
Конструкция | вытянутая труба с внутренними перегородками, с интегрируемой оптикой и формирователем луча |
Передающая способность |
однородна в диапазоне от 1 мкм до более 30 мкм |
Другие параметры |
|
Рабочая температура | от + 5°С до + 35°С |
Температура хранения | от - 5°С до + 55°С |
Влажность при работе | не более 75% (без конденсирования) |
Влажность при хранении | не более 50% (без конденсирования) |