Комплекс контроля герметичности

Комплекс контроля герметичности в своей работе использует принцип регистрации, закачиваемого в контролируемый объект, контрольного газа. Контрольный газ является инертным, безопасным в использовании и не влияющим на работу контролируемого оборудования.

Комплекс контроля предназначен для определения герметичности замкнутого объема путем регистрации вытекающего контрольного газа.

Суть метода состоит в определении количества вытекающего газа из замкнутого объема в заданный промежуток времени. Исследуемый объект, наполненный контрольным газом, помещается в вакуумную испытательную камеру, откачиваемую форвакуумным насосом до давления ~1 Па (после чего откачка прекращается). Далее происходит регистрация масс-спектрометром парциального давления контрольного газа, вытекающего из проверяемого сосуда. Внутренняя градуировка прибора осуществляется посредством напуска в испытательную камеру калиброванного объема контрольного газа, содержащегося в проверяемом объеме. Продолжительность одного анализа зависит от допускаемого вытекания и составляет около одного часа.

Комплекс контроля герметичности обладает следующими характеристиками

• Диапазон регистрируемых натеканий от 0,05 до 20 см³/час;
• Порог чувствительности комплекса относительно аргона составляет не более 7,5х10^-12 Па;
• Комплекс имеет разрешающую способность порядка 10% интенсивности линий масс-спектра - не менее 1•М, где число М - является массовым числом регистрируемого пика;
• Пределы допускаемого значения по среднеквадратичному отклонению (СКО), имеющей случайную составляющую с относительной погрешностью составляющей ± 2 %;
• Комплекс способен обнаруживать диапазон массовых чисел с нижним пределом - не более 1 а.е.м., верхним пределом - не менее 250 а.е.м.;
• Потребляемая от сети мощность - не более 200 ВA, (в режиме прогрева анализатора 700 ВA);
• Масса без запасных частей, инструмента и принадлежностей - не более 50 кг;
• Управление комплексом автоматизированное и осуществляется посредством персонального компьютера (ПК);
• Максимальное рабочее давление, имеющееся в области источника ионов, как анализатора масс - спектрометра составляет - 10^-2 Па.

Состав системы контроля герметичности

• Вакуумная испытательная камера.
• Исследуемый объем.
• Баллон с гелием для промывки вакуумной испытательной камеры
• Калиброванный объем напуска исследуемого газа для градуировки масс-спектрометра.
• Баллон с контрольным газом .
• Вакуумный насос откачки технологической камеры.
• Азотная ловушка.
• Фильтр напуска вакуумной испытательной камеры.
• Датчик вакуума.